[发明专利]一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法

摘要

一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法，属于超精密加工工艺技术领域。为了达到现有平面电机驱动的沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转方向的三自由度精密运动平台的运动性能要求，满足现有运动平台上采用的气浮轴承的使用需要，本发明所述方法是：首先在清洁好的永磁阵列上表面和各永磁体之间各缝隙内涂上具有高渗透性的环氧树脂胶，并使其固化，经磨削粗加工后，再涂刷一层高耐磨的陶瓷防护剂材料，等其完全固化后，进行磨削粗、精细加工及人工研磨，得到所需的气浮平面。该方法可以获得更高的气浮平面度，还避免了在磨削精加工和研磨过程中被切削液污染腐蚀等问题，具有气浮面自身厚度小，重量轻，制造工艺简单快捷及成本低廉等优点。

主权项

1.一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法，其特征在于：该方法按如下步骤：1)准备好带基座的永磁体阵列(1)，对该永磁体阵列进行清洁并晾干；2)在清洁完毕的永磁体阵列上表面和各永磁体之间各缝隙内涂上具有高渗透性的环氧树脂胶，并固化；3)对步骤2)获得的永磁体阵列上表面进行磨削粗加工；4)在永磁体阵列固化后的环氧树脂胶上涂刷一层高耐磨的陶瓷防护剂材料，涂刷后等待其完全固化，形成气浮面；5)对步骤4)所形成的气浮面再次进行磨削粗、精细加工及人工研磨，得到所需的气浮平面。