[发明专利]一种消影导电玻璃在审
| 申请号: | 201510985601.7 | 申请日: | 2015-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN105541124A | 公开(公告)日: | 2016-05-04 |
| 发明(设计)人: | 李刚;蒋继文;金克武;曹欣;张宽翔;杨勇;姚婷婷;王芸;徐根保 | 申请(专利权)人: | 蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
| 代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 杨晋弘 |
| 地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本发明公开一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层;采用Nb2O5膜层或TiO2膜层作为高折射率膜层,在满足ITO方阻值的同时消除蚀刻阴影,保证显示效果;由于采用氧化物膜层,在沉积时只需要通入氧气这一种反应气体,更换靶材就可以实现不同膜层的沉积,在一个腔室里就能够完成,无需增加额外溅射腔室,减少生产设备的投入降低成本;另外,对不同膜层可以连续沉积,不需要经过抽放气环节,降低工艺难度,提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 导电 玻璃 | ||
【主权项】:
一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,其特征在于,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层。
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