[发明专利]一种高性能钽溅射靶材制备方法在审
| 申请号： | 201510977879.X | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105525263A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 罗俊锋;陈明;徐学礼;徐国进;万小勇;李勇军;熊晓东;王兴权 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能钽溅射靶材的制备方法。首先对高纯钽铸锭进行冷却锻造，使锻造过程中铸锭表面温度≤100℃；然后对铸锭进行轧制，每个方向多次轧制后转向，形成米字交叉轧制，每次轧制的变形量控制在10％～25％，总变形量在70％以上；再对轧制后的靶坯进行再结晶退火，最后对再结晶的钽板进行机加工，得到高性能钽溅射靶材，晶粒尺寸≤80μm，且分布均匀，溅射面的<111>择优取向达到50％以上，纵截面的择优取向<110>的含量控制在20％～40％，且在纵截面的圆周方向均匀分布，使靶材溅射薄膜的均匀性进一步提高，厚度跳动范围为±3％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高性能钽溅射靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a.对高纯钽铸锭进行冷却锻造，使锻造过程中铸锭表面温度≤100℃，所述高纯钽的纯度≥99.99％；b.对铸锭进行米字交叉轧制，即首先沿第一方向(1)进行多次轧制，再转至第二方向(2)进行多次轧制，第一方向(1)和第二方向(2)夹角为90°；然后再转至第三方向(3)进行多次轧制，第三方向(3)与第一方向(1)或第二方向(2)的夹角为45°，最后转至第四方向(4)进行多次轧制，第四方向(4)与第三方向(3)的夹角为90°，形成米字交叉轧制；c.对轧制后的靶坯进行再结晶退火；d.最后对再结晶的钽板进行机加工。
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