[发明专利]基于PSD的高精度两维位移测量系统在审
| 申请号： | 201510974502.9 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105571494A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张振东;姜润强;王红宣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于PSD的高精度两维位移测量系统，包括：PSD信号采集处理电路板，电源以及激光器；所述PSD信号采集处理电路板分别与电源和激光器相连；所述电源和激光器相连；所述PSD信号采集处理电路板在信号处理流程上依次包括：PSD，PSD前端信号调理单元、模数转换单元和数字信号处理单元；所述数字信号处理单元与上位机相连。本发明的基于PSD的高精度两维位移测量系统，将PSD信号采集处理板、激光器、电源集成在一起，使其成为一套完整的两维位移测量系统，不仅可以提高测量精度，而且还实现了位移检测的数字化和自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 psd 高精度 位移 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于，包括：PSD信号采集处理电路板，电源以及激光器；所述PSD信号采集处理电路板分别与电源和激光器相连；所述电源和激光器相连；所述PSD信号采集处理电路板在信号处理流程上依次包括：PSD，PSD前端信号调理单元、模数转换单元和数字信号处理单元；所述数字信号处理单元与上位机相连。
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