[发明专利]基于PSD的高精度两维位移测量系统在审
| 申请号： | 201510974502.9 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105571494A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张振东;姜润强;王红宣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 psd 高精度 位移 测量 系统 | ||
1.一种基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于，包括：
PSD信号采集处理电路板，电源以及激光器；所述PSD信号采集处理电路板 分别与电源和激光器相连；所述电源和激光器相连；
所述PSD信号采集处理电路板在信号处理流程上依次包括：PSD，PSD前端信 号调理单元、模数转换单元和数字信号处理单元；所述数字信号处理单元与上 位机相连。
2.根据权利要求1所述的基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于， 所述PSD为first-sensor公司生产的DL100-7芯片。
3.根据权利要求1所述的基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于， 所述PSD具有100mm2感光面积，可敏感两个方向上的位移。
4.根据权利要求1所述的基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于， 所述信号调理单元为ADA4077-2芯片。
5.根据权利要求1所述的基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于， 所述模数转换单元为AD7656B-1芯片。
6.根据权利要求1所述的基于PSD的高精度两维位移测量系统，其特征在于， 所述数字信号处理单元为MCUF28027芯片。
7.根据权利要求1-6中的任意一项所述的基于PSD的高精度两维位移测量系 统，其特征在于，所述数字信号处理单元可将PSD输出的四路电流信号处理后得 到光点两维位置信息，然后将位置信息发送给上位机。
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