[发明专利]用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用在审
| 申请号： | 201510974331.X | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN105525344A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;牛卉卉;朱雨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/12;C30B25/20 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于金刚石合成技术领域，提供了一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘、基台组件及其应用。所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上，所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。所述用于金刚石单晶同质外延的基台组件，包括水冷台和设置在所述水冷台上的籽晶托盘，所述籽晶托盘为上述的用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金刚石 同质 外延 籽晶 托盘 组件 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种用于金刚石单晶同质外延的籽晶托盘，所述籽晶托盘置于微波等离子体化学气相沉积装置的水冷台上，其特征在于，所述籽晶托盘中心开设有用于放置籽晶的穿孔。
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