[发明专利]一种用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台有效

专利信息
申请号: 201510973856.1 申请日: 2015-12-21
公开(公告)号: CN105586577B 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 吴雁;赵杰;李艳峰;郑刚;张而耕 申请(专利权)人: 上海应用技术学院
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 杨军
地址: 200235 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台,包括驱动杆(1)、下转盘(2)、上转盘(3)、推力球轴承(4)和夹具体固定杆(8),推力球轴承(4)设于上转盘(3)与下转盘(2)之间,上转盘(3)内部设有大齿轮(5)和小齿轮(6),小齿轮(6)与大齿轮(5)啮合连接,大齿轮(5)与驱动杆(1)过盈配合,上转盘(3)与小齿轮(6)内啮合,上转盘(3)上端设有盖板,夹具体固定杆(8)穿过盖板(7)与小齿轮(6)连接,夹具体固定杆(8)在小齿轮(6)的带动下进行公转与自转;本发明通过与配套的夹具体相配合能实现待涂层刀具的公转与自转,使得待涂层刀具表面均匀地涂覆上所要求的涂层材料,且涂覆厚度均匀。
搜索关键词: 一种 用于 刀具 制备 pvd 涂层 柔性 旋转 工作台
【主权项】:
1.一种用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台,其特征在于:包括驱动杆(1)、下转盘(2)、上转盘(3)、推力球轴承(4)、大齿轮(5)、小齿轮(6)、盖板(7)和夹具体固定杆(8),所述推力球轴承(4)设置于上转盘(3)与下转盘(2)之间,所述上转盘(3)内部设有行星轮结构,所述行星轮结构包括大齿轮(5)和小齿轮(6),所述小齿轮(6)沿周向设置于大齿轮(5)外围,并与大齿轮(5)啮合连接,所述大齿轮(5)与驱动杆(1)过盈配合,所述上转盘(3)内壁上沿周向设置有齿条,所述上转盘(3)与小齿轮(6)内啮合,所述上转盘(3)上端设有盖板,所述夹具体固定杆(8)穿过盖板(7)与小齿轮(6)连接,所述夹具体固定杆(8)在小齿轮(6)的带动下进行公转与自转,所述夹具体固定杆(8)下端与小齿轮(6)上齿面之间安装有扭力弹簧(12),所述夹具体固定杆(8)底端安装有滚动轴承(11),所述小齿轮(6)的中心孔上设有键槽,所述夹具体固定杆(8)通过平键与小齿轮(6)连接,所述小齿轮(6)的键槽与平键之间设有安装间隙,所述安装间隙略大于小齿轮(6)与大齿轮(5)之间的啮合侧隙。
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