[发明专利]一种用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台

权利要求书

1.一种用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：包括驱动杆(1)、下转盘(2)、上转盘(3)、推力球轴承(4)、大齿轮(5)、小齿轮(6)、盖板(7)和夹具体固定杆(8)，所述推力球轴承(4)设置于上转盘(3)与下转盘(2)之间，所述上转盘(3)内部设有行星轮结构，所述行星轮结构包括大齿轮(5)和小齿轮(6)，所述小齿轮(6)沿周向设置于大齿轮(5)外围，并与大齿轮(5)啮合连接，所述大齿轮(5)与驱动杆(1)过盈配合，所述上转盘(3)内壁上沿周向设置有齿条，所述上转盘(3)与小齿轮(6)内啮合，所述上转盘(3)上端设有盖板，所述夹具体固定杆(8)穿过盖板(7)与小齿轮(6)连接，所述夹具体固定杆(8)在小齿轮(6)的带动下进行公转与自转，所述夹具体固定杆(8)下端与小齿轮(6)上齿面之间安装有扭力弹簧(12)，所述夹具体固定杆(8)底端安装有滚动轴承(11)，所述小齿轮(6)的中心孔上设有键槽，所述夹具体固定杆(8)通过平键与小齿轮(6)连接，所述小齿轮(6)的键槽与平键之间设有安装间隙，所述安装间隙略大于小齿轮(6)与大齿轮(5)之间的啮合侧隙。

2.如权利要求1所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述盖板(7)上通过螺纹固定有支撑杆(9)，所述支撑杆(9)上端可拆卸式连接有顶盖(10)，所述顶盖(10)上开设有与支撑杆(9)上端相对应的通孔。

3.如权利要求2所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述大齿轮(5)和小齿轮(6)采用热膨胀系数不同的材料制成。

4.如权利要求3所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述大齿轮(5)选用优质合金钢制成，所述小齿轮(6)选用铬镍耐热钢制成。

5.如权利要求4所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述推力球轴承(4)的工作温度为0-200℃，所述推力球轴承(4)选用高温轴承钢制成。

6.如权利要求5所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述夹具体固定杆(8)、支撑杆(9)分别设有多根，所述夹具体固定杆(8)上不同高度处设置有用于安装夹具体的螺纹孔。

7.如权利要求6所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台，其特征在于：所述驱动杆(1)与炉腔外调速电机的输出端相连。

8.一种根据权利要求1至7中任一项所述的用于刀具制备PVD涂层的柔性旋转工作台的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)根据PVD涂层制备设备的样品室尺寸确定旋转工作台大小，根据待涂层刀具数量及尺寸确定所需夹具体的数量及尺寸，按权利要求1至7任一项，组装成夹具系统；

2)将待涂层刀具用锡箔纸包裹住刀柄部分以防不需要涂层部位被涂覆，将待涂层刀具的刀尖向上插入于夹具体内；

3)将多套已装夹待涂层刀具的夹具体固定在旋转工作台的夹具体固定杆上，待试样全部装夹完成后，将旋转工作台安放在炉腔内，即可进行PVD涂层制备。