[发明专利]一种掩模更换装置及高通量样品制备方法在审
| 申请号： | 201510973339.4 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105372112A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 闫宗楷;徐子明;向勇;胡洁赫;余应明 | 申请（专利权）人： | 宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 刘凤钦;王莹 |
| 地址： | 315040 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模更换装置，包括有能够进行转动的掩模转台、驱动转台进行转动的第一驱动装置、放置基片的基片台，驱动基片台进行转动和升降的第二驱动装置，掩模转台与第一驱动装置传动连接，基片台和第二驱动装置传动连接。转台上具有多个放置分立掩模的掩模安装位，掩模安装位内的分立掩模能够随着转台的对应转动至基片台的上方。该掩模更换装置能够方便的更换基片上的分立掩模并能够精确调整分立掩模和基片相对位置。本发明还涉及一种高通量样品的制备方法，包括分立掩模高通量样品制备方法、连续掩模高通量样品制备方法和交叉制备方法。该高通量制备方法能够方便实现各种样品成分分布要求的高通量样品制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 更换 装置 通量 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模更换装置，其特征在于：包括有能够进行转动的掩模转台(1)、用于驱动所述掩模转台(1)进行转动的第一驱动装置(11)、用于放置基片的基片台(2)，用于驱动基片台(2)进行转动和升降的第二驱动装置(21)，所述掩模转台(1)与所述第一驱动装置(11)传动连接，所述基片台(2)和所述第二驱动装置(21)传动连接；所述转台(1)上具有多个用于放置分立掩模的掩模安装位(12)，放置在所述掩模安装位(12)内的分立掩模能够随着掩模转台(1)对应转动至所述基片台(2)的上方。
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