[发明专利]深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装在审
| 申请号： | 201510962303.6 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105444694A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 田伟;王平;王汝冬;隋永新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，包括：光学元件；18个20°均布的弹片支撑单元；用于固定弹片支撑单的镜框；3个120°均布用于镜片精密调整用径向数显微分头调节器；3个用于镜框精密重复定位V型定位块。本发明的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装尤其适用于深紫外光刻投影物镜中光学元件纳米级面形检测时被测光学元件的检测支撑工装。该装置装卡的重复精度高，可以满足光学加工时面形精修的精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 深紫 投影 光刻 物镜 纳米 光学 元件 检测 支撑 工装 | ||
【主权项】：
一种深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于：包括：光学元件(1)；18个20°均布在镜框上的弹片支撑单元(2)；用于固定弹片支撑单元的镜框(3)；3个120°均布、用于精密调整的径向调节驱动器单元(4)，其中一个径向调节驱动器单元(4)与弹片支撑单元(2)径向角度位置对齐；3个120°均布、用于镜框精密重复定位的V型定位块(5)，其与径向调节驱动器单元(4)径向角度位置对齐；所述光学元件(1)通过弹片支撑单元(2)进行支撑；所述的弹片支撑单元(2)与镜框(3)之间通过紧固螺钉方式连接；所述径向调节驱动器单元(4)和3个V型定位块(5)分别固定在镜框(3)上；所述镜框(3)通过3对V型定位块(5)进行定位。
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