[发明专利]深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装

权利要求书

1.一种深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于：包括：

光学元件(1)；

18个20°均布在镜框上的弹片支撑单元(2)；

用于固定弹片支撑单元的镜框(3)；

3个120°均布、用于精密调整的径向调节驱动器单元(4)，其中一个径向调节驱动器单元(4)与弹片支撑单元(2)径向角度位置对齐；

3个120°均布、用于镜框精密重复定位的V型定位块(5)，其与径向调节驱动器单元(4)径向角度位置对齐；

所述光学元件(1)通过弹片支撑单元(2)进行支撑；所述的弹片支撑单元(2)与镜框(3)之间通过紧固螺钉方式连接；所述径向调节驱动器单元(4)和3个V型定位块(5)分别固定在镜框(3)上；所述镜框(3)通过3对V型定位块(5)进行定位。

2.根据权利要求1所述的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于，在镜框(3)的上端面加工有定位槽及相应的螺纹孔，用于定位及连接弹片支撑单元(2)。

3.根据权利要求1所述的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于，在镜框(3)的上下端面加工有连接径向调节驱动器单元(4)及V型定位块(5)的螺纹孔。

4.根据权利要求1所述的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于，所述每个弹片支撑单元(2)由挠性调节支撑块、支撑弹片及接触半球组成，其中的接触半球采用环氧结构胶粘固定于支撑弹片上，支撑弹片采用环氧结构胶粘固定于挠性调节支撑块上。

5.根据权利要求1所述的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于，所述的弹片支撑单元(2)在光学元件(1)的轴向和径向的刚度小于1N/mm。

6.根据权利要求1所述的深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，其特征在于，径向调节驱动器单元(4)提供沿径向的移动位移量及径向定位约束，其驱动器位数显式螺旋微分头，其具有径向驱动及径向显示位置功能。