[发明专利]基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法在审
| 申请号： | 201510962173.6 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105446087A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 喻波;姚舜;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00;G02B5/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中单层膜的光学常数的反演方法极易陷入局部极小值的问题。本发明的方法步骤如下：先通过单层膜的目标光学常数和目标膜厚，计算单层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标反射率曲线，然后通过得到的目标反射率曲线，采用遗传算法反演单层膜的膜厚和光学常数；其中，单层膜的反射率曲线皆通过递归算法确定。该方法提高了反演过程的稳定性，避免了反演过程陷入局部最小值，由该方法反演得到的光学常数与目标光学常数误差很小，光学常数反演精度高，从而为提高极紫外多层膜反射率的工艺优化提供了依据。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 遗传 算法 紫外 波段 光学 常数 反演 方法 | ||
【主权项】：
基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、通过单层膜的目标光学常数和目标膜厚，计算单层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标反射率曲线；步骤二、通过步骤一得到的目标反射率曲线，采用遗传算法反演单层膜的膜厚和光学常数；所述步骤一和步骤二中，单层膜的反射率曲线皆通过递归算法确定。
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