[发明专利]基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法

权利要求书

1.基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，步骤如下：

步骤一、通过单层膜的目标光学常数和目标膜厚，计算单层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标反射率曲线；

步骤二、通过步骤一得到的目标反射率曲线，采用遗传算法反演单层膜的膜厚和光学常数；

所述步骤一和步骤二中，单层膜的反射率曲线皆通过递归算法确定。

2.根据权利要求1所述的基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，所述步骤二的过程为：

以式(1)为评价函数，采用遗传算法寻找使得F值最小的光学常数和膜厚，该光学常数即为单层膜的光学常数；

F=Σi=1m|Rc(θi)-Rgoal(θi)|---(1)]]>

式(1)中，m为整数，R_c(θ_i)为计算反射率曲线，R_goai(θ_i)为目标反射率曲线。

3.根据权利要求1所述的基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，所述步骤二中，遗传算法的种群数为100，交叉概率为0.5，变异概率为0.02，迭代数为500代。

4.根据权利要求1所述的基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，所述反射率曲线的掠入射角的变化范围为2.5°-85°。

5.根据权利要求1所述的基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，所述反射率曲线的波长固定为13.5nm。

6.根据权利要求1所述的基于遗传算法的极紫外波段光学常数反演方法，其特征在于，所述单层膜的膜厚为10-90nm。