[发明专利]一种热处理用衬底、衬底的制备方法和应用有该衬底的热处理装置

摘要

本发明涉及一种衬底，包括由对加热源辐射波长基本无吸收的材料制成的基板、由对加热源辐射波具有高吸收率的材料制成的吸收层、阻挡基板或吸收层中所包含离子和原子的迁移的扩散阻挡层，吸收层设置在基板上，扩散阻挡层覆盖设置在吸收层上。本发明还涉及一种衬底的制备方法，依次在基板上采用物理气相沉积或化学气相沉积的方式沉积吸收层和扩散阻挡层。本发明同时还涉及一种热处理装置，包括本体、设置在本体内的加热源以及前述的衬底，加热源位于所述衬底靠近基板的一侧。本发明中的衬底和热处理装置能够对高通量的组合材料实现精确的热处理，处理效率高。

主权项

一种衬底，其特征在于：包括由对辐照加热源的辐照波长基本无吸收的材料制成的基板(1)、由对加热源辐射波具有高吸收率和吸收系数的材料制成的吸收层(2)、用于阻挡所述基板(1)或吸收层(2)中所包含离子、原子向材料样品迁移的扩散阻挡层(3)，所述吸收层(2)和所述扩散阻挡层(3)叠放设置在所述基板(1)上。