[发明专利]基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法

摘要

本发明公开了一种基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中低压强下极紫外吸收系数的测量往往需要很长的光程以及很高灵敏度的探测器，造成测量成本高的问题。本发明的测量方法，先在固定波长下，通过公式-lnT＝σ(λ)PL拟合σ(λ)的值；然后测定气体池中待测痕量气体的实际压强P'，再根据得到的σ(λ)的值和测得的实际压强P'，通过公式μ＝σ(λ)P'计算得到痕量气体的极紫外吸收系数。该测量方法无需通过增大光程和提高探测器灵敏度就实现了低压强下气体极紫外吸收系数的测量，极大地节省了搭建痕量气体极紫外吸收系数测量装置的成本，且应用广泛，不仅适用于纯净气体，对固定组成的混合气体同样适用。

主权项

基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、在固定波长下，通过式(1)拟合σ(λ)的值；‑lnT＝σ(λ)PL   (1)式(1)中，T为气体透过率，P为气体压强，L为气体池长度，σ(λ)为气体单位压强吸收系数；所述固定波长在极紫外波段范围内，所述气体与待测痕量气体的组分相同，所述待测痕量气体为纯净气体或者固定组成的混合气体；步骤二、测定气体池中待测痕量气体的实际压强P'；步骤三、根据步骤一得到的σ(λ)的值和步骤二测得的实际压强P'，通过式(2)计算得到痕量气体的极紫外吸收系数；μ＝σ(λ)P'   (2)式(2)中，μ为待测痕量气体的极紫外吸收系数。