[发明专利]基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法

权利要求书

1.基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法，其特征在于，步骤 如下：

步骤一、在固定波长下，通过式(1)拟合σ(λ)的值；

-lnT＝σ(λ)PL(1)

式(1)中，T为气体透过率，P为气体压强，L为气体池长度，σ(λ)为气 体单位压强吸收系数；

所述固定波长在极紫外波段范围内，所述气体与待测痕量气体的组分相同， 所述待测痕量气体为纯净气体或者固定组成的混合气体；

步骤二、测定气体池中待测痕量气体的实际压强P'；

步骤三、根据步骤一得到的σ(λ)的值和步骤二测得的实际压强P'，通过式 (2)计算得到痕量气体的极紫外吸收系数；

μ＝σ(λ)P'(2)

式(2)中，μ为待测痕量气体的极紫外吸收系数。

2.根据权利要求1所述的基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法， 其特征在于，所述步骤一中，通过式(1)拟合σ(λ)的值的过程为：测量多组气 体透过率与气体压强的数据，线性拟合，得到σ(λ)。

3.根据权利要求2所述的基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法， 其特征在于，所述步骤一中，所述多组为五组。

4.根据权利要求1所述的基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法， 其特征在于，所述步骤一中，固定波长为13.5nm。

5.根据权利要求1所述的基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法， 其特征在于，所述步骤一中，气体压强为0.1mbar以上。

6.根据权利要求5所述的基于外推法的痕量气体极紫外吸收系数测量方法， 其特征在于，所述气体压强为0.1-0.23mbar。