[发明专利]一种陶瓷金属化薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510958543.9 申请日: 2015-12-18
公开(公告)号: CN106892685B 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 李帅;吕琴丽;何迪;张超;张华;刘晓鹏 申请(专利权)人: 有研工程技术研究院有限公司
主分类号: C04B41/90 分类号: C04B41/90;C23C14/18;C23C14/34
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 刘秀青;熊国裕
地址: 101407 北京市怀*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种陶瓷金属化薄膜及其制备方法。该陶瓷金属化薄膜由依次施加在陶瓷基体上的陶瓷金属复合过渡层、第一金属薄膜和第二金属薄膜构成,其中,陶瓷金属复合过渡层由第一金属和与陶瓷基体相同的成分复合而成,第一金属在陶瓷金属复合过渡层中所占比例为20‑80at%;所述陶瓷基体由Al2O3、ZrO2、AlN、BN、SiC、Si3N4中的一种构成;所述第一金属为Nb、Ti、Cr、Zr、V、Ta中的一种;所述第二金属为Ni、Mo、Au、Cu、Pt、W中的一种或几种混合。其制备方法为:(1)在陶瓷基体上以溅射镀膜法沉积陶瓷金属复合过渡层;(2)在陶瓷金属复合过渡层上以溅射镀膜法依次沉积第一金属薄膜和第二金属薄膜。本发明的陶瓷金属化薄膜,陶瓷尺寸控制精确,抗拉强度高。
搜索关键词: 一种 陶瓷 金属化 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研工程技术研究院有限公司,未经有研工程技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510958543.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top