[发明专利]一种低电压透明氧化物薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种低电压透明氧化物薄膜晶体管及其制备方法，该薄膜晶体管包括：衬底，为ITO导电玻璃；所述ITO导电玻璃上层ITO导电膜为ITO栅电极；栅电极绝缘层，为透明ZrO₂膜，位于所述ITO栅电极上；有源层，为透明氧化物膜，位于所述栅电极绝缘层上；源电极、漏电极，均为透明ITO膜，分别位于所述有源层上。该透明氧化物薄膜晶体管以高介电常数ZrO₂膜为栅电极绝缘层，实现了薄膜晶体管的全透明性和低电压开启特性，具有较高的开关比、载流子迁移率，在平板显示、透明电子器件和柔性显示等领域具有广泛的应用前景；采用其作为像素开关，大大提高了有源矩阵的开口率，从而提高了亮度，降低了功耗。

主权项

1.一种低电压透明氧化物薄膜晶体管，其特征在于：包括：衬底，为ITO导电玻璃；所述ITO导电玻璃上层ITO导电膜为ITO栅电极；栅电极绝缘层，为透明ZrO2膜，位于所述ITO栅电极上；有源层，为透明氧化物膜，位于所述栅电极绝缘层上；源电极、漏电极，均为透明ITO膜，分别位于所述有源层上；所述低电压透明氧化物薄膜晶体管由包括如下步骤的方法制得：1）采用溶胶凝胶法，将乙酰丙酮锆溶液在ITO导电玻璃上匀胶成膜，后退火，制得具有栅电极绝缘层的半成品A；2）采用磁控溅射法在所得半成品A的栅电极绝缘层上制备有源层，得半成品B：3）采用磁控溅射法在所得半成品B的有源层上制备源电极、漏电极，即得；步骤1）中，所述乙酰丙酮锆溶液中，乙酰丙酮锆的浓度为0.1～0.2mol/L，所用的溶剂为乙醇与乙醇胺的混合液；所述乙酰丙酮锆溶液中，乙醇与乙醇胺的体积比为1～2:1。