[发明专利]微粒制造装置以及微粒制造方法在审
| 申请号： | 201510947370.0 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN105810548A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 永井久雄;大熊崇文 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够将材料高效且大量地向等离子体投入，从而增加生产量且以低成本进行生产的微粒制造装置以及微粒制造方法。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接且将材料的颗粒(30)从材料供给口(12)向真空腔室内供给；多根电极(4)，其与真空腔室连接且前端向真空腔室内露出而产生等离子体(25)；以及回收装置(3)，其与真空腔室连接且回收微粒(31)，该微粒制造装置是在真空腔室内产生放电而由材料制造微粒的装置，其中，在真空腔室中，材料供给装置的材料供给口设置在比多根电极靠铅垂方向的下侧的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微粒制造装置，具有：真空腔室；材料供给装置，其与所述真空腔室连接且将材料的颗粒从材料供给口向所述真空腔室内供给；多根电极，其与所述真空腔室连接且前端向所述真空腔室内突出而产生等离子体；以及回收装置，其与所述真空腔室连接且回收微粒，所述微粒制造装置是在所述真空腔室内产生放电而由所述材料制造所述微粒的装置，其中，在所述真空腔室中，所述材料供给装置的所述材料供给口设置在比所述多根电极靠铅垂方向的下侧的位置，进而，所述材料供给口设有多个，由此，以与所述放电的中央部相比向所述电极的周边供给更多的所述材料的方式向高温区域供给所述材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下知识产权经营株式会社，未经松下知识产权经营株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510947370.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铜基合金电触头
- 下一篇：一种用于观察三维原子探针试样的透射电镜样品台
