[发明专利]微粒制造装置以及微粒制造方法在审
| 申请号： | 201510947370.0 | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN105810548A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 永井久雄;大熊崇文 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B01J19/08;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微粒 制造 装置 以及 方法 | ||
【说明书】：
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