[发明专利]一种激光能量控制装置及方法有效
| 申请号： | 201510943571.3 | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105356214B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 杨振玲;刘涛;张昌清 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 冯倩 |
| 地址： | 300000 天津市经济技术开发区黄海路167号*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光能量控制装置及方法，应用于激光成像系统，属于光刻技术领域，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合。本发明提供的一种激光能量控制装置及方法通过第一控制模块和第二控制模块的配合，有效地控制了激光器的驱动电压模块的输出电压，进而有效地提高了激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 能量 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光能量控制装置，应用于激光成像系统，其特征在于，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据所述电压驱动电路的输出电压发出相应能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合；所述光能量采集模块用于采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；所述第一控制模块用于将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；所述电压驱动电路用于根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；所述第二控制模块用于将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；所述电压驱动电路还用于根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；其中，所述第一控制模块的响应速度大于所述第二控制模块的响应速度。
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