[发明专利]一种激光能量控制装置及方法

说明书

本发明提供了一种激光能量控制装置及方法，应用于激光成像系统，属于光刻技术领域，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合。本发明提供的一种激光能量控制装置及方法通过第一控制模块和第二控制模块的配合，有效地控制了激光器的驱动电压模块的输出电压，进而有效地提高了激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体而言，涉及一种激光能量控制装置及方法。

背景技术

半导体行业和印刷电路板行业中，曝光环节中一般使用传统曝光机或激光动态成像技术(Laser Dynamic Imaging，LDI)设备，与传统曝光机不同，LDI设备是用激光扫描的方法直接将图像在印制电路板上成像。由于成像过程更精细，因此LDI设备中激光器输出能量的控制也更为细致和精准。现有的控制方法为通过电路调节保证激光器输出能量本身的稳定性。但是，激光器在使用一定时间后一般会出现能量衰减，其自身的控制反馈信号不能补偿激光器的能量衰减，导致激光器输出的激光光束的能量并不能达到用户所需要的能量。由于当激光器输出的激光光束的能量衰减到临界值后，对LDI设备后续的曝光和显影会造成影响，使得生产的电路板出现短路和断路等现象。因此，需要一种激光能量控制方法，以保证激光器输出的能量为用户所需要的能量，避免影响到后续曝光和显影，造成经济损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光能量控制装置及方法，有效地提高了实际应用中激光器输出能量的准确性和可靠性，以改善上述问题。

为了实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种激光能量控制装置，应用于激光成像系统，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据所述电压驱动电路的输出电压发出相应能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述光能量采集模块用于采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

所述第一控制模块用于将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

所述电压驱动电路用于根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；

所述第二控制模块用于将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述电压驱动电路还用于根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量。

结合第一方面，本发明实施例还提供了第一方面的第一种可能实施方式，其中，所述装置还包括开关模块，所述开关模块包括控制端、第一连接端、第二连接端和第三连接端，所述第一连接端与所述第一控制模块的输出端耦合，所述第二连接端和所述控制端均与所述第二控制模块耦合，所述第三连接端与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述控制端用于根据所述第二控制模块发送的控制指令，断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，连接第二连接端与所述三连接端。