[发明专利]一种单铝靶磁控溅射太阳能选择性吸收涂层在审
| 申请号： | 201510911144.7 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105546858A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 徐宝安 | 申请（专利权）人： | 淄博环能海臣环保技术服务有限公司;徐宝安 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山东省淄博市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种单铝靶磁控溅射太阳能选择性吸收涂层，其太阳能选择性吸收涂层以沉积在衬底上的铝反射膜作为底层，以沉积在铝反射膜上的铝元素陶瓷为扩散阻挡膜层，以沉积在铝元素陶瓷扩散阻挡膜层上的铝元素金属陶瓷复合成分为太阳能选择性吸收材料膜层，以沉积在铝元素金属陶瓷复合成分太阳能选择性吸收材料膜层上的铝元素陶瓷减反射膜作为表层，太阳能选择性吸收涂层通过单铝靶磁控溅射真空镀膜机结合反应气体和工作气体实现镀膜。膜层具有高的吸收率，热稳定性好，因而集热性能优良，且具有实施简便的优点。表面挥发与放气少于金属——碳化物吸收材料。因此在制造集热管时，烘烤温度可调节到400-500℃，这将减少生产时间周期与生产能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单铝靶 磁控溅射 太阳能 选择性 吸收 涂层 | ||
【主权项】：
一种单铝靶磁控溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是：太阳能选择性吸收涂层以沉积在衬底上的铝反射膜作为底层，以沉积在铝反射膜上的铝元素陶瓷为扩散阻挡膜层，以沉积在铝元素陶瓷扩散阻挡膜层上的铝元素金属陶瓷复合成分为太阳能选择性吸收材料膜层，以沉积在铝元素金属陶瓷复合成分太阳能选择性吸收材料膜层上的铝元素陶瓷减反射膜作为表层，太阳能选择性吸收涂层通过单铝靶磁控溅射真空镀膜机结合反应气体和工作气体实现镀膜。
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