[发明专利]金属等离子体源及应用在审
| 申请号： | 201510899888.1 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN105543791A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 吴忠振;肖舒;崔岁寒;林海;潘锋 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/46 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金属等离子体源及其应用。本申请的金属等离子体源包括外壳、磁控靶、磁性元件和抑制磁性元件，外壳呈中空的圆柱筒状，磁控靶铺于外壳的中空内腔，不与外壳导通，磁性元件铺于磁控靶与外壳间，抑制磁性元件成对的安装于磁性元件的两端，与磁性元件端部极性相同。本申请的金属等离子体源，在磁性元件的两端安装抑制磁性元件，利用抑制磁性元件的磁场将磁性元件向外倾斜的磁力线推回，形成垂直于磁控靶的拱形磁场，从而减少电子逃逸，使更多电子约束在等离子体源内部，起到降低工作气压作用，达到提高靶材刻蚀均匀性、可控性以及束流密度的目的。同时，金属等离子体源内部电子浓度增加，也有效提高了材料的离化率及束流密度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 等离子体 应用 | ||
【主权项】：
一种金属等离子体源，包括外壳(11)、磁控靶(12)和磁性元件(13)，所述外壳(11)呈中空的圆柱筒状，所述磁控靶(12)铺设于外壳(11)的中空的内腔中，且不与外壳(11)导通，所述磁性元件(13)铺设于磁控靶(12)与外壳(11)之间，其特征在于：还包括抑制磁性元件(14)，所述抑制磁性元件(14)成对的安装于所述磁性元件(13)的两端，并且，抑制磁性元件(14)与磁性元件(13)端部极性相同。
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