[发明专利]显影液供应系统

摘要

本发明提供一种显影液供应系统，包括一显影机台(1)、互为备用关系的第一显影液循环槽(21)和第二显影液循环槽(22)、显影液供应源(30)、及氮气供应源(40)，其中，通过将第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)设置成与显影液供应系统外部隔绝的密闭状态，且使氮气供应源(40)通过管道向第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)内充入氮气，能够使整个系统处于密封及氮气保护的状态，从而隔绝了空气对显影液中氢氧根离子的消耗，使显影液的使用周期得以延长。

主权项

1.一种显影液供应系统，其特征在于，包括：一显影机台(1)，包括显影室(11)、设于显影室内(11)的数个喷淋头(12)，所述显影室(11)具有入口、及出口，所述显影室(11)的入口、及出口上均设有密封门(13)，通过关闭密封门(13)可使得所述显影机台(1)变成与显影液供应系统外部不相通的密闭状态，待显影的基板(70)、及已显影的基板通过显影室(11)的入口、及出口输入、输出；互为备用关系的第一显影液循环槽(21)、第二显影液循环槽(22)，所述第一、第二显影液循环槽(21、22)通过管道连接所述显影机台(1)的数个喷淋头(12)，用于向显影机台(1)提供显影液，所述第一、第二显影液循环槽(21、22)为与显影液供应系统外部不相通的密闭状态；显影液供应源(30)，通过管道向第一、第二显影液循环槽(21、22)提供显影液；氮气供应源(40)，通过管道向第一显影液循环槽(21)、第二显影液循环槽(22)、及显影机台(1)内充入氮气，从而对所述第一、第二显影液循环槽(21、22)、及显影机台(1)内的显影液进行氮气保护；显影液通过管路在第一显影液循环槽(21)、第二显影液循环槽(22)和显影机台(1)内循环流动，当显影液在第一或第二显影液循环槽(21、22)和显影机台(1)内循环流动时，相应的第二或第一显影液循环槽(22、21)处于备用状态，与显影机台(1)之间的循环通路被截止；所述第一、第二显影液循环槽(21、22)和显影机台(1)之间的连接管路上设有感应器件，当所述感应器件感测到连接管路中的显影液的电导率低于一定值时，切换显影液的循环通路，并相应的将第一、或第二显影液循环槽(21/22)内的显影液排空，由显影液供应源(30)向其输入新的显影液；所述显影液的组分包括碳酸钾、表面活性剂、及溶剂。