[发明专利]显影液供应系统

说明书

本发明提供一种显影液供应系统，包括一显影机台(1)、互为备用关系的第一显影液循环槽(21)和第二显影液循环槽(22)、显影液供应源(30)、及氮气供应源(40)，其中，通过将第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)设置成与显影液供应系统外部隔绝的密闭状态，且使氮气供应源(40)通过管道向第一、第二显影液循环槽(21、22)及显影机台(1)内充入氮气，能够使整个系统处于密封及氮气保护的状态，从而隔绝了空气对显影液中氢氧根离子的消耗，使显影液的使用周期得以延长。

技术领域

本发明涉及显示面板的生产领域，尤其涉及一种显影液供应系统。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD）由于色彩度高、体积小、功耗低等优势，在目前平板显示领域占主流地位。作为液晶显示器重要组件之一的彩色滤光片（Color filter），主要通过RGB彩色层的滤光实现显色。彩色滤光片的传统的制作工艺，主要包括涂布、预烘烤、曝光、显影、烘烤等制程。其中显影制程对形成图形的宽度及形态特别重要。彩色滤光片一般使用负型光刻胶，显影制程一般为使用显影液将未被光照射到的光刻胶溶解，然后用水将基板冲洗干净。其中，显影液主要包括氢氧化钾（KOH）和表面活性剂，光刻胶内的树脂羧酸基团和显影液中的的氢氧根离子（OH^-）发生反应，形成羧基，从而使光刻胶溶于水而溶解。因此，显影液中的OH^-的浓度是影响显影液使用周期（lift time）的重要因素。

目前，显影液在显影制程中的运转方式为：如图1所示，显影液供应源300将显影液输入互为备用关系的第一显影液循环槽210、第二显影液循环槽220内，当待显影的基板500到达显影机台100的显影室110内后，其内的喷淋头120将显影液喷到待显影的基板500上，其内的显影液再通过管路回流到第一或第二显影液循环槽210/220内，显影液在第一或第二显影液循环槽210/220和显影机台100内循环流动。然而，第一、第二显影液循环槽210、220和显影机台100并不是完全密闭的，均与外界的空气接触。显影液循环槽210、220的液位上方还有大量的空间，而显影机台100内喷淋显影液时也与空气完全接触，显影液的主要成分OH^- 与空气中二氧化碳（CO₂）发生反应，生成碳酸根离子（CO₃^2-），使其内的使OH^- 被大量消耗，从而导致显影液的使用周期缩短。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影液供应系统，通过将系统设置为密封状态，并通过氮气供应源向该系统内充入氮气，以对显影液进行氮气保护，隔绝空气与显影液的反应，使显影液的使用周期得以延长。

为实现上述目的，本发明提供了一种显影液供应系统，包括：

一显影机台，包括显影室、设于显影室内的数个喷淋头，所述显影室具有入口、及出口，所述显影室的入口、及出口上均设有密封门，通过关闭密封门可使得所述显影机台变成与显影液供应系统外部不相通的密闭状态，待显影的基板、及已显影的基板通过显影室的入口、及出口输入、输出；

互为备用关系的第一显影液循环槽、第二显影液循环槽，所述第一、第二显影液循环槽通过管道连接所述显影机台的数个喷淋头，用于向显影机台提供显影液，所述第一、第二显影液循环槽为与该显影液的供应系统外部不相通的密闭状态；

显影液供应源，通过管道向第一、第二显影液循环槽提供显影液；

氮气供应源，通过管道向第一显影液循环槽、第二显影液循环槽、及显影机台内充入氮气，从而对所述第一、第二显影液循环槽、及显影机台内的显影液进行氮气保护。

所述显影液的组分包括碳酸钾、表面活性剂、及溶剂。

所述显影液的组分还包括氢氧化钾。