[发明专利]真空退火炉在审
| 申请号： | 201510886600.7 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105444571A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 符慧能;谢振勇;李明;肖洁;成秋云 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;厉田 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空退火炉，包括炉管和套于炉管内的石英管，所炉管的前后两端分别设有前端盖和后端盖，石英管外壁与炉管内壁之间形成加热腔，石英管与前端盖和后端盖之间形成反应腔，后端盖上装设有伸入至反应腔内并延伸至前端盖附近的管内气冷吹扫组件，炉管上装设有与加热腔连通的管外气冷吹扫组件。该真空退火炉具有布局简单紧凑、使用环保、可大大提高降温速率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 退火炉 | ||
【主权项】：
一种真空退火炉，包括炉管（1）和套于炉管（1）内的石英管（2），所炉管（1）的前后两端分别设有前端盖（3）和后端盖（4），所述石英管（2）外壁与炉管（1）内壁之间形成加热腔（5），石英管（2）与前端盖（3）和后端盖（4）之间形成反应腔（6），其特征在于：所述后端盖（4）上装设有伸入至反应腔（6）内并延伸至前端盖（3）附近的管内气冷吹扫组件（7），所述炉管（1）上装设有与加热腔（5）连通的管外气冷吹扫组件（8）。
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