[发明专利]真空退火炉在审
| 申请号： | 201510886600.7 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105444571A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 符慧能;谢振勇;李明;肖洁;成秋云 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;厉田 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 退火炉 | ||
1.一种真空退火炉，包括炉管（1）和套于炉管（1）内的石英管（2），所炉管（1）的前后两端分别设有前端盖（3）和后端盖（4），所述石英管（2）外壁与炉管（1）内壁之间形成加热腔（5），石英管（2）与前端盖（3）和后端盖（4）之间形成反应腔（6），其特征在于：所述后端盖（4）上装设有伸入至反应腔（6）内并延伸至前端盖（3）附近的管内气冷吹扫组件（7），所述炉管（1）上装设有与加热腔（5）连通的管外气冷吹扫组件（8）。
2.根据权利要求1所述的真空退火炉，其特征在于：所述管内气冷吹扫组件（7）包括进气管（71）、吹扫管（72）和抽气管（73），所进气管（71）和抽气管（73）均装设于后端盖（4）上，所述抽气管（73）与反应腔（6）相通，所述吹扫管（72）设置在反应腔（6）内，吹扫管（72）的一端与进气管（71）连通，另一端伸至前端盖（3）附近。
3.根据权利要求2所述的真空退火炉，其特征在于：所述吹扫管（72）包括连接部（721）、盘管部（722）和延伸部（723），所述连接部（721）与进气管（71）连接，所述盘管部（722）与连接部（721）连接并位于后端盖（4）附近，所述延伸部（723）一端与盘管部（722）连接，另一端伸至前端盖（3）附近。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空退火炉，其特征在于：所述管外气冷吹扫组件（8）包括进气腔（81）和抽气筒（82），所述进气腔（81）和抽气筒（82）设置在炉管（1）相对的两侧并与加热腔（5）连通。
5.根据权利要求4所述的真空退火炉，其特征在于：所述进气腔（81）设置为“鸭嘴”状结构。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的真空退火炉，其特征在于：所述加热腔（5）的两端设有柔性缓冲块（9）。
7.根据权利要求5所述的真空退火炉，其特征在于：所述加热腔（5）的两端设有柔性缓冲块（9）。
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