[发明专利]MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法在审
| 申请号： | 201510880550.1 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN106840292A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 韩怀成;郑孚;隋晓东 | 申请（专利权）人： | 辽宁思凯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86;G01F15/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 118008 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法，其MEMS热式质量燃气表装置，是在装有温度传感器与换能器的气体流量测量装置表体上并接旁路管，旁路管上装有MEMS流量传感器；温度传感器、换能器及MEMS流量传感器均连接数据处理器。用上述装置气体流量的测定方法是1气体瞬时流量检测；2气体转换系数的测定；3气体瞬时流量的修正，得到计量的气体流量。本发明将超声波声速测量装置与MEMS流量传感器结合，扩展了适用范围，可以对燃气和各种工业气体进行计量，在数据处理过程中，超声波声速测量装置实时监测气体组分的变化，计算气体转换系数对瞬时流量进行补偿，提高了气体流量的测量精度，对热式气体流量仪表的应用和推广具有广泛意义。 | ||
| 搜索关键词： | mems 质量 燃气 装置 气体 流量 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS热式质量燃气表装置，包括温度传感器、超声波换能器及数据处理器，其特征是：MEMS热式质量燃气表装置：是在装有温度传感器4与发射换能器1和接收换能器10的气体流量测量装置表体11上并接旁路管5，旁路管5的进口9位于阻流体2的气流上游侧，旁路管的出口3位于阻流体2的气流下游侧，旁路管5上装有MEMS流量传感器6;气体流量测量装置上的温度传感器4、发射换能器1和接收换能器10及MEMS流量传感器6均连接数据处理器7，数据处理器7连接数据显示装置8。
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