[发明专利]MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体流量测量领域，尤其是涉及一种热式质量燃气表装置及气体流量的测定方法。

背景技术

众所周知，现在用以测量气体流量的方法有很多种，相应的测试装置也多种多样，但每种装置都有其测试的局限性，比如热式气体流量测量装置，其原理是气体流速与气体分子带走热量之间的关系。这样气体的组分和比定压热容的大小，都会影响测量的准确性。例如目前的热式流量测量装置，基本都是用空气或氮气标定，在燃气计量时，根据现场提供的燃气组分，计算出气体转换系数进行补偿，但在使用中如果燃气组分发生变化流量测量将会出现偏差。

公开日为2011年3月30日、公开号为CN 101126652 B的专利文件公开了电子式质量流量燃气计量表，燃气表壳体为具有气密性容腔的壳体，壳体内的输气管分为独立的进气管，以及连接在一起的流量检测管和出气管，进气、出气管分别与壳体的进、出气接口连接，流量检测管的下游端与出气管连接并水平悬空在壳体中，流量检测管具有主流气道和旁路气道，主流气道中设置一用于分流的装置位于连通旁路气道的两通孔之间，旁路气道的截面积小于主流气道的截面积，一热式质量流量传感器的信号传感模块设于用于检测的旁路气道的内壁。它能够对经过的燃气进行质量流量计量，并且能够防止燃气中含有的粉尘附着在传感元件上，提高燃气使用计量的精确性和燃气表的使用寿命。上述装置可实现燃气的质量流量测量，无需温度、压力补偿。 MEMS热式质量燃气表具有无可动部件、响应快、高精度、超宽量程、超低始动流量、低压损等特点。但是该装置采用的是空气标定，固定的气体转换系数，当燃气组分变化时没有实时补偿功能，影响了计量的真实性。

公开日为2012年7月11日,公开号为CN102564516A的专利文件公开了一种电子燃气表，包括气体质量流量传感器、信号调理电路、A/D转换器、微处理器、液晶显示模块、气体传感器、温度-压力传感器和气体数据库存储器，实现了对多组分气体在不同温度、压力条件下的体积流量的测量。上述装置只是对气体组份进行识别，对质量流量转换为体积流量进行密度修正，并未做气体的转换系数修正，同时该装置在实际应用中，气体流速对气体传感器的影响也难以完全消除，影响流量检测的精度。

发明内容

针对目前热式气体流量测量装置存在的问题，提供一种测量精度高、可靠性好、具有自动识别气体转换系数的流量测量装置及气体流量测量方法。

本发明为达到上述技术目的所采用的具体技术方案为：一种MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法，其MEMS热式质量燃气表装置，包括温度传感器、超声波换能器及数据处理器，其特征是：MEMS热式质量燃气表装置：是在装有温度传感器4与发射换能器1和接收换能器10的气体流量测量装置表体11上并接旁路管5，旁路管5的进口9位于阻流体2的气流上游侧，旁路管的出口3位于阻流体2的气流下游侧，旁路管5上装有MEMS流量传感器6;气体流量测量装置上的温度传感器4、发射换能器1和接收换能器10及MEMS流量传感器6均连接数据处理器7，数据处理器7连接数据显示装置8。

用上述装置气体流量的测定方法是：

1气体瞬时流量检测：当气体从表体11入口至出口内通过阻流体2流动时，一部分气体通过旁路管进口9流入旁路管5中，再从旁路管出口3流出，当流过MEMS流量传感器6时产生流量信号，测量岀气体瞬时流量；

2气体转换系数的测定：当气体流动时，发射换能器1发射超声波，对面的接收换能器10接收到超声波，测量岀在表体11内径行程发射和接收到超声波的时间，计算出超声波在表体11内气体中的声速，温度传感器4测量出此时的温度，通过温度补偿，数据处理器计算出标准温度下气体的声速，通过该声速查询存储器中对应的气体转换系数；