[发明专利]一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管

摘要

本发明公开了一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，所述石英玻璃管的外表面沉积有金刚石膜，所述金刚石膜的沉积方法包括如下步骤：（1）石英玻璃管外壁去污处理；（2）石英玻璃管外壁粗化处理；（3）石英玻璃管外壁清洁干燥处理；（4）化学气相沉积金刚石膜。本发明一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其耐腐蚀膜为纳米金刚石膜，具有优异的抗腐蚀性能，有效降低了使用玻璃管的腐蚀速率，极大地扩大了石英玻璃管在酸碱领域的使用范围，且本发明石英玻璃管外壁上的纳米金刚石膜的制备方法简便，容易实现。

主权项

一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述石英玻璃管的外表面沉积有金刚石膜，所述金刚石膜的沉积方法包括如下步骤：（1）石英玻璃管外壁去污处理：先用铬酸洗液冲洗石英玻璃管外壁，再用清水冲洗5～8次，最后用无水乙醇擦洗数次；（2）石英玻璃管外壁粗化处理：用含有一定量金刚石微粉的水射流研磨步骤（1）中去污处理后的石英玻璃管外壁，实现粗化处理；（3）石英玻璃管外壁清洁干燥处理：将步骤（2）中粗化后的石英玻璃管置于含金刚石微粉的乙醇悬浊液中超声震荡，然后用去离子水冲洗干净，并用纯氢气干燥；（4）化学气相沉积金刚石膜：将步骤（3）中干燥处理后的石英玻璃管置于微波等离子体谐振腔中，以一定的温度和碳源浓度，分两步将碳源沉积在所述石英玻璃管外壁，形成金刚石膜。