[发明专利]一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管

权利要求书

1.一种表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述石英玻璃管的外表面沉积有金刚石膜，所述金刚石膜的沉积方法包括如下步骤：

（1）石英玻璃管外壁去污处理：先用铬酸洗液冲洗石英玻璃管外壁，再用清水冲洗5～8次，最后用无水乙醇擦洗数次；

（2）石英玻璃管外壁粗化处理：用含有一定量金刚石微粉的水射流研磨步骤（1）中去污处理后的石英玻璃管外壁，实现粗化处理；

（3）石英玻璃管外壁清洁干燥处理：将步骤（2）中粗化后的石英玻璃管置于含金刚石微粉的乙醇悬浊液中超声震荡，然后用去离子水冲洗干净，并用纯氢气干燥；

（4）化学气相沉积金刚石膜：将步骤（3）中干燥处理后的石英玻璃管置于微波等离子体谐振腔中，以一定的温度和碳源浓度，分两步将碳源沉积在所述石英玻璃管外壁，形成金刚石膜。

2.根据权利要求1所述的表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述金刚石膜为纳米级膜。

3.根据权利要求1所述的表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述步骤（1）中，所述铬酸洗液的浓度为30～40g/L，清洗时间为10～20min。

4.根据权利要求1所述的表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述步骤（2）中，所述金刚石微粉在水中的体积含量为15～30%，所述金刚石微粉的直径为0.3～0.5μm，所述溅射时间为30～40min。

5.根据权利要求1所述的表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述步骤（3）中，所述金刚石微粉在乙醇中的体积含量为10～20%，所述超声震荡时间为30～60min；所述干燥用氢气的温度为30～40℃。

6.根据权利要求1所述的表面具有耐腐蚀膜的石英玻璃管，其特征在于，所述步骤（4）中，所述第一步的沉积条件为：温度380～420℃，碳源体积浓度为18～25%；所述第二步的沉积条件为：温度450～480℃，碳源体积浓度为10～15%。