[发明专利]一种低腐蚀性感光膜清洗液在审
| 申请号： | 201510848566.4 | 申请日： | 2015-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN105388712A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏赵珍 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明一种低腐蚀性感光膜清洗液，提供了一种清洗液，其包括季戊四醇、氢氧化钾、有机胺、防腐蚀剂和溶剂。本发明提供的清洗液感光膜清洗能力强且对半导体晶片图案和基材腐蚀性较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀性 感光 清洗 | ||
【主权项】：
一种低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：包括季戊四醇、氢氧化钾、有机胺、防腐蚀剂和溶剂。
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