[发明专利]一种低腐蚀性感光膜清洗液

权利要求书

1.一种低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：包括季戊四醇、氢氧化钾、有机胺、防腐蚀剂和溶剂。

2.如权利要求1所述的低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的质量百分比为1-10％，氢氧化钾的质量百分比为1-5％，有机胺的质量百分比为0.5-25％，防腐蚀剂1-3％，溶剂为佘量，各组分质量百分比之和为100％。

3.如权利要求1或2所述的低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的质量百分比为5％，氢氧化钾的质量百分比为5％，有机胺的质量百分比为20％，防腐蚀剂2％，溶剂为68％。

4.如权利要求1至3所述的低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：所述机胺为选自包括1，5-二甲基己胺、异丙醇胺、间甲基苯胺、n-甲基乙醇胺、对氟苯胺、二乙基乙醇胺、2-氨乙基氨基乙醇、氨乙基哌嗪、氨丙基哌嗪、1-(2-羟乙基)哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、2-苯基哌嗪、1-氨基哌啶和1-氨甲基哌啶的组的至少一种化合物。

5.如权利要求1至4所述的低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：所述溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一种或多种。

6.如权利要求1至5所述的低腐蚀性感光膜清洗液，其特征在于：所述的亚砜为二甲基亚砜；所述的砜为环丁砜；所述的咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺为二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇为丙二醇、二乙二醇；醚为乙二醇醚或丙二醇醚。

7.如权利要求1至6所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述防腐蚀剂由式2所示的O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺和式1所示的ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃构成，其中，n＝8，两者的质量为1∶3。

8.如权利要求1至7所述的低腐蚀性感光膜清洗剂，其特征在于：所述O’，O’-二苯基二硫代磷酸-N，N-二乙胺的制备方法具体为：

将22.2g五硫化二磷(0.1mol)，37.6g苯酚(0.4mol)加入到250mL三口烧瓶中，加入70mL甲苯作溶剂；边搅拌边逐渐将温度升高到100℃左右反应45min；再升温直到回流，回流3h，反应过程中固体逐渐消失；溶液稍冷，加入少量活性炭煮沸脱色，趁热过滤，滤液冷却至室温；将所得滤液转移至烧杯中，水浴冷却并在搅拌下逐滴滴加22mL二乙胺(0.2mol)，反应体系放出大量的热，液体颜色逐渐变为橘红色，用玻璃棒快速搅拌，有沉淀产生，室温下静止放置一夜；减压过滤，用甲苯洗涤至白色，产品为白色针状晶体；甲苯重结晶，减压过滤，真空干燥，得白色晶体，即得。

9.如权利要求1至8所述的低腐蚀性感光膜清洗剂，其特征在于：所述ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃的制备方法具体为：

分别称取0.11mol邻苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研钵中充分研磨使其混合均匀，转移至三颈烧瓶中。加入混酸，通氮，机械搅拌下加热回流反应。TLC跟踪监测至反应结束，约10h，倒入250mL烧杯中，静置冷却，用浓氨水调节pH＝7。于4℃下静置过夜，抽滤干燥，所得粗品用甲醇/水重结晶，得纯品。