[发明专利]一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统在审
| 申请号： | 201510813120.8 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105331925A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 黄跃学;邓乔枫;卞健;林国强 | 申请（专利权）人： | 江苏丰东热技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 224199 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，包括真空炉罐、进气系统和排气系统，所述进气系统与所述排气系统通过所述真空炉罐相连接，所述进气系统包括第一进气管道及第二进气管道；所述排气系统包括排气管道，所述排气管道上设有抽真空系统，所述第一进气管道上设有第一进气控制装置，所述第一进气控制装置用于控制所述第一进气管道的进气量；所述第二进气管道上设有第二进气控制装置，所述第二进气控制装置用于控制所述第二进气管道的进气量；所述排气管道上设有排气控制装置，所述排气控制装置用于控制所述排气管道的排气量。本发明通过精确动态控制进气及出气量，显著降低了真空炉罐内的压强波动，确保氮化处理工件的质量稳定性和重现性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 氮化 高精度 动态 控制系统 | ||
【主权项】：
一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，包括真空炉罐、进气系统和排气系统，所述进气系统与所述排气系统通过所述真空炉罐相连接，所述进气系统包括第一进气管道及第二进气管道；所述排气系统包括排气管道，所述排气管道上设有抽真空系统，其特征在于：所述第一进气管道上设有第一进气控制装置，所述第一进气控制装置用于控制所述第一进气管道的进气量；所述第二进气管道上设有第二进气控制装置，所述第二进气控制装置用于控制所述第二进气管道的进气量；所述排气管道上设有排气控制装置，所述排气控制装置用于控制所述排气管道的排气量。
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