[发明专利]一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统在审
| 申请号： | 201510813120.8 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105331925A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 黄跃学;邓乔枫;卞健;林国强 | 申请（专利权）人： | 江苏丰东热技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/24 | 分类号： | C23C8/24 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 224199 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 氮化 高精度 动态 控制系统 | ||
1.一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，包括真空炉罐、进气系统和排气系统，所述进气系统与所述排气系统通过所述真空炉罐相连接，所述进气系统包括第一进气管道及第二进气管道；所述排气系统包括排气管道，所述排气管道上设有抽真空系统，其特征在于：
所述第一进气管道上设有第一进气控制装置，所述第一进气控制装置用于控制所述第一进气管道的进气量；
所述第二进气管道上设有第二进气控制装置，所述第二进气控制装置用于控制所述第二进气管道的进气量；
所述排气管道上设有排气控制装置，所述排气控制装置用于控制所述排气管道的排气量。
2.如权利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于：
所述第一进气控制装置包括第一压力继电器、第一减压阀、第一主路真空角阀及第一傍路真空角阀；
所述第二进气控制装置包括第二压力继电器、第二减压阀、第二主路真空角阀及第二傍路真空角阀。
3.如权利要求2所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于：
所述第一进气管道上还设有第一质量流量计及第一流量计；
所述第二进气管道上还设有第二质量流量计及第二流量计。
4.如权利要求3所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，所述第二进气管道上设有单向阀。
5.如权利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，所述排气控制装置包括蝶形角阀、排气真空角阀及真空比例阀。
6.如权利要求5所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，所述排气管道上设有热交换器。
7.如权利要求5述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，所述排气管道上设有波纹管。
8.如权利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，其还包括与所述真空炉罐连接的真空度检测系统，所述真空度检测系统包括智能压力变送器及真空计探头。
9.如权利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，其特征在于，所述抽真空系统包括罗茨泵和旋片干泵。
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