[发明专利]一种高性能金属氧化膜电阻器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510810140.X | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105374482A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 陈桂兴 | 申请（专利权）人： | 陈桂兴 |
| 主分类号： | H01C7/18 | 分类号： | H01C7/18;H01C17/00;H01C17/12 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 袁周珠 |
| 地址： | 511545 广东省清远*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高性能金属氧化膜电阻器及其制备方法，属于薄膜电阻器技术领域；其中涂料原料的各组分的重量份为四氯化锡30~40份、三氯化锑20~30份、抗氧化剂2~6份、粘结剂1~5份、无水乙醇30~40份；其制备方法为将原料混合均匀，超声处理50~55min，过100~150μm滤膜，得涂料溶液；将涂料溶液磁控溅射在温度为320~360℃的陶瓷基板上，控制加速电压为200~240V，磁场为200~300G，电流密度为50~60mA/cm，功率密度为30~40W/cm，膜厚度为0.1~0.5μm，即得成品；该电阻器性能优越，稳定性好、精密度高，适合精密型电子元器件的要求，且生产成本低廉，适于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 金属 氧化 电阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高性能金属氧化膜电阻器，其特征在于：涂料原料的各组分的重量份为：四氯化锡30~40份、三氯化锑20~30份、抗氧化剂2~6份、粘结剂1~5份、无水乙醇30~40份。
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