[发明专利]一种高性能金属氧化膜电阻器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201510810140.X 申请日: 2015-11-23
公开(公告)号: CN105374482A 公开(公告)日: 2016-03-02
发明(设计)人: 陈桂兴 申请(专利权)人: 陈桂兴
主分类号: H01C7/18 分类号: H01C7/18;H01C17/00;H01C17/12
代理公司: 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 代理人: 袁周珠
地址: 511545 广东省清远*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 性能 金属 氧化 电阻器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡30~40份、三氯化锑20~30份、抗氧化剂2~6份、粘结剂1~5份、无水乙醇30~40份。

2.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡30~35份、三氯化锑20~25份、抗氧化剂4~6份、粘结剂3~5份、无水乙醇35~40份。

3.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡35~40份、三氯化锑25~30份、抗氧化剂2~4份、粘结剂1~3份、无水乙醇30~35份。

4.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡35份、三氯化锑25份、抗氧化剂4份、粘结剂3份、无水乙醇35份。

5.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡33份、三氯化锑21份、抗氧化剂5份、粘结剂4份、无水乙醇37份。

6.一种高性能金属氧化膜电阻器,其特征在于:涂料原料的各组分的重量份为:

四氯化锡37份、三氯化锑28份、抗氧化剂3份、粘结剂2份、无水乙醇33份。

7.一种高性能金属氧化膜电阻器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

将原料混合均匀,超声处理50~55min,过100~150μm滤膜,得涂料溶液;将涂料溶液磁控溅射在温度为320~360℃的陶瓷基板上,控制加速电压为200~240V,磁场为200~300G,电流密度为50~60mA/cm,功率密度为30~40W/cm,膜厚度为0.1~0.5μm,即得成品。

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