[发明专利]具有支撑结构以提供经改进滤光器厚度均匀性的彩色滤光器阵列

摘要

本申请案涉及一种具有支撑结构以提供经改进滤光器厚度均匀性的彩色滤光器阵列。在彩色图像传感器上使用的彩色滤光器阵列包含具有侧壁的氧化物栅格，所述侧壁经布置以界定所述氧化物栅格中的开口。所述开口中的每一者将安置在所述彩色图像传感器的对应像素单元上方。氧化物支撑结构安置在所述彩色图像传感器的对应像素单元上方的所述氧化物栅格中的每一开口的内部区域中。所述氧化物栅格中的所述开口填充有对应彩色滤光器的彩色滤光器材料。每一氧化物支撑结构与所述彩色滤光器的周围彩色滤光器材料之间的表面张力适于为所述氧化物栅格中的所述对应开口内的所述彩色滤光器提供均匀厚度。

主权项

一种在彩色图像传感器上使用的彩色滤光器阵列，其包括：具有多个氧化物侧壁的氧化物栅格，所述氧化物侧壁经布置以界定所述氧化物栅格中的多个开口，其中所述多个开口中的每一者适于安置在所述彩色图像传感器的对应像素单元上方；多个氧化物支撑结构，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者从所述多个氧化物侧壁分离，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者适于安置在所述彩色图像传感器的所述对应像素单元上方的所述氧化物栅格中的所述多个开口中的对应一者的内部区域中；及多个彩色滤光器，其中所述多个彩色滤光器中的每一者由彩色滤光器材料组成，其中所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述每一者填充有所述多个彩色滤光器中的对应一者的所述彩色滤光器材料，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者与周围彩色滤光器材料之间的表面张力适于为所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述对应一者内的所述多个彩色滤光器中的每一者提供均匀厚度。