[发明专利]具有支撑结构以提供经改进滤光器厚度均匀性的彩色滤光器阵列

权利要求书

1.一种在彩色图像传感器上使用的彩色滤光器阵列，其包括：

具有多个氧化物侧壁的氧化物栅格，所述氧化物侧壁经布置以界定所述氧化物栅格中的多个开口，其中所述多个开口中的每一者适于安置在所述彩色图像传感器的对应像素单元上方；

多个氧化物支撑结构，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者从所述多个氧化物侧壁分离，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者适于安置在所述彩色图像传感器的所述对应像素单元上方的所述氧化物栅格中的所述多个开口中的对应一者的内部区域中；及

多个彩色滤光器，其中所述多个彩色滤光器中的每一者由彩色滤光器材料组成，其中所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述每一者填充有所述多个彩色滤光器中的对应一者的所述彩色滤光器材料，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者与周围彩色滤光器材料之间的表面张力适于为所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述对应一者内的所述多个彩色滤光器中的每一者提供均匀厚度。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光器阵列，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者从所述氧化物栅格的所述多个侧壁分离。

3.根据权利要求1所述的彩色滤光器阵列，其中抗反射涂层将安置在所述氧化物栅格与所述彩色图像传感器之间。

4.根据权利要求1所述的彩色滤光器阵列，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者的高度等于所述多个氧化物侧壁中的每一者的高度。

5.根据权利要求1所述的彩色滤光器阵列，其中光通过所述多个彩色滤光器中的每一者的所述彩色滤光器材料被引导到所述彩色图像传感器的所述对应像素单元。

6.根据权利要求5所述的彩色滤光器阵列，其中所述彩色图像传感器的每一像素单元包含光电二极管，其中所述光通过所述彩色滤光器材料被引导到所述彩色图像传感器的所述对应像素单元的所述光电二极管。

7.根据权利要求1所述的彩色滤光器阵列，其中所述多个彩色滤光器中的每一者的所述彩色滤光器材料为红色、绿色或蓝色中的一者。

8.根据权利要求7所述的彩色滤光器阵列，其中所述多个彩色滤光器在所述彩色滤光器阵列中布置成拜耳图案。

9.一种成像系统，其包括：

彩色图像传感器，其包括包含多个像素单元的像素阵列；

控制电路，其耦合到所述像素阵列以控制所述像素阵列的操作；

读出电路，其耦合到所述像素阵列以从所述多个像素读出图像数据；及

彩色滤光器阵列，其安置在所述彩色图像传感器上方，其中所述彩色滤光器阵列包含：

具有多个氧化物侧壁的氧化物栅格，所述氧化物侧壁经布置以界定所述氧化物栅格中的多个开口，其中所述多个开口中的每一者安置在所述彩色图像传感器的所述多个像素单元中的对应一者上方；

多个氧化物支撑结构，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者从所述多个氧化物侧壁分离，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者安置在所述彩色图像传感器的所述多个像素单元中的所述对应一者上方的所述氧化物栅格中的所述多个开口中的对应一者的内部区域中；及

多个彩色滤光器，其中所述多个彩色滤光器中的每一者由彩色滤光器材料组成，其中所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述每一者填充有所述多个彩色滤光器中的对应一者的所述彩色滤光器材料，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者与周围彩色滤光器材料之间的表面张力适于为所述氧化物栅格中的所述多个开口中的所述对应一者内的所述多个彩色滤光器中的每一者提供均匀厚度。

10.根据权利要求9所述的成像系统，其进一步包括功能逻辑，所述功能逻辑耦合到所述读出电路以存储来自所述多个像素单元中的每一者的所述图像数据。

11.根据权利要求9所述的成像系统，其中所述多个彩色滤光器中的每一者的所述彩色滤光器材料为红色、绿色或蓝色中的一者。

12.根据权利要求9所述的成像系统，其中所述多个彩色滤光器在所述彩色滤光器阵列中布置成拜耳图案。

13.根据权利要求9所述的成像系统，其中所述多个氧化物支撑结构中的每一者从所述氧化物栅格的所述多个侧壁分离。

14.根据权利要求9所述的成像系统，其进一步包括安置在所述氧化物栅格与所述彩色图像传感器之间的抗反射涂层。