[发明专利]一种用于沉积OVD疏松体的装置及其应用有效
| 申请号： | 201510785081.5 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105271699B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;向德成;满小忠;田锦成;钱昆;何炳 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于沉积OVD疏松体的装置，包括石英质喷灯以及喷灯出口处正对芯棒设置的石墨中心管；喷灯外部设有第一加热装置，在该第一加热装置外侧设有第一保温层；石墨中心管外部设有第二加热装置，在该第二加热装置外侧设有第二保温层；第二保温层外侧设有金属壳体，在该金属壳体上设有进气口；在芯棒两侧靠近石墨中心管的位置设有第三加热装置；喷灯中心设有内腔，环绕内腔由内而外依次设有第一屏蔽腔、中间腔、第二屏蔽腔和外腔。本发明用高纯度的去离子水作为SiCl4水解的反应物，通过合理的温度场控制来调节目标疏松体的密度。工艺稳定性和沉积效率，降低了生产成本，提高了生产安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 ovd 疏松 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：包括石英质喷灯以及喷灯出口处正对芯棒设置的石墨中心管；所述喷灯外部设有第一加热装置，在该第一加热装置外侧设有第一保温层；所述石墨中心管外部设有第二加热装置，在该第二加热装置外侧设有第二保温层；所述第二保温层外侧设有金属壳体，在该金属壳体上设有进气口；在所述芯棒两侧靠近所述石墨中心管的位置设有第三加热装置；所述喷灯中心设有内腔，环绕所述内腔由内而外依次设有第一屏蔽腔、中间腔、第二屏蔽腔和外腔；所述第一加热装置的加热体为缠绕在所述喷灯外部的加热电阻丝；所述加热电阻丝的加热温度为1000℃～1100℃；进行沉积时，向中间腔喷吹SiCl4蒸汽，分别向内腔和外腔喷吹金属离子含量≤1ppb的H2O蒸汽，同时，分别向第一屏蔽腔和第二屏蔽腔喷吹惰性气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏通鼎光棒有限公司，未经江苏通鼎光棒有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510785081.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：玻璃、光学玻璃、模压成型用玻璃坯料和光学元件
- 下一篇：一种多功能玻璃刀
