[发明专利]一种用于沉积OVD疏松体的装置及其应用

权利要求书

1.一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：包括石英质喷灯以及喷灯出口处正对芯棒设置的石墨中心管；所述喷灯外部设有第一加热装置，在该第一加热装置外侧设有第一保温层；所述石墨中心管外部设有第二加热装置，在该第二加热装置外侧设有第二保温层；所述第二保温层外侧设有金属壳体，在该金属壳体上设有进气口；在所述芯棒两侧靠近所述石墨中心管的位置设有第三加热装置；所述喷灯中心设有内腔，环绕所述内腔由内而外依次设有第一屏蔽腔、中间腔、第二屏蔽腔和外腔；所述第一加热装置的加热体为缠绕在所述喷灯外部的加热电阻丝；所述加热电阻丝的加热温度为1000℃～1100℃；进行沉积时，向中间腔喷吹SiCl₄蒸汽，分别向内腔和外腔喷吹金属离子含量≤1ppb的H₂O蒸汽，同时，分别向第一屏蔽腔和第二屏蔽腔喷吹惰性气体。

2.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：所述第二加热装置的加热体为环绕所述石墨中心管的石墨电阻。

3.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：所述第三加热装置的加热体为石墨电阻或加热电阻丝。

4.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：所述第一保温层为石棉保温层。

5.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：所述第二保温层为石墨质保温层。

6.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：所述石墨中心管表面设有碳化硅镀层。

7.根据权利要求1所述的一种用于沉积OVD疏松体的装置，其特征在于：靠近所述喷灯、以及靠近所述喷灯出口处、以及靠近所述石墨中心管正对的芯棒沉积区域分别设有非接触式温度传感器。