[发明专利]一种晶硅太阳能电池片表面多孔陷光结构的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510749734.4 申请日: 2015-11-06
公开(公告)号: CN105428432B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 张敏敏;余锡宾 申请(专利权)人: 上海师范大学
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L21/306
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司31225 代理人: 赵志远
地址: 200234 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种晶硅太阳能电池片表面多孔陷光结构的制备方法,包括以下步骤(1)硅片预处理将硅片依次用丙酮、乙醇、去离子水分别超声清洗;(2)多孔陷光结构的制备将预处理后的硅片在清洗液中清洗,然后在沉积溶液中化学沉积,化学沉积后将硅片取出放入刻蚀溶液中刻蚀,刻蚀完成后放入HNO3溶液中超声清洗,再将硅片取出,放入KBH4溶液中静置,最后取出用去离子水冲洗,吹干,在硅片表面得到多孔陷光结构。与现有技术相比,本发明制得的多孔结构均匀可控,能够有效的提高硅片对太阳光的吸收、降低硅片对太阳光的反射,利用该方法制备多孔陷光结构,工艺简单,生产成本低,可大规模制备,适合于工业化生产。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 表面 多孔 结构 制备 方法
【主权项】:
一种晶硅太阳能电池片表面多孔陷光结构的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)硅片预处理:将硅片依次用丙酮、乙醇、去离子水分别超声清洗;(2)多孔陷光结构的制备:将预处理后的硅片在清洗液中清洗,然后在沉积溶液中化学沉积,化学沉积后将硅片取出放入刻蚀溶液中刻蚀,刻蚀完成后放入HNO3溶液中超声清洗,再将硅片取出,放入KBH4溶液中静置,所述的KBH4溶液浓度为0.1~5M,最后取出用去离子水冲洗,吹干,在硅片表面得到多孔陷光结构。
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