[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置在审
申请号: | 201510746196.3 | 申请日: | 2015-11-04 |
公开(公告)号: | CN105244363A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/28 | 分类号: | H01L27/28;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;黄进 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板,包括阵列设置于玻璃基板上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括栅电极、栅极绝缘层、有源层以及源电极和漏电极;其中,所述有源层的材料为金属氧化物半导体材料,所述有源层上还设置有一有机半导体,所述有机半导体覆盖沟道区,并且延伸至所述源电极与所述有源层之间和所述漏电极与所述有源层之间。本发明还公开了如上所述阵列基板的制备方法以及包含该阵列基板的显示装置。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管阵列基板,包括阵列设置于玻璃基板上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括:栅电极,形成于所述玻璃基板上;栅极绝缘层,覆设于所述栅电极上;有源层,形成于所述栅极绝缘层上;源电极和漏电极,形成于所述栅极绝缘层上;所述源电极和漏电极之间相互间隔并且分别具有部分搭接在所述有源层上,所述有源层对应于所述源电极和漏电极相互间隔的区域形成沟道区;其特征在于,所述有源层的材料为金属氧化物半导体材料,所述有源层上还设置有一有机半导体层,所述有机半导体层覆盖所述沟道区,并且延伸至所述源电极与所述有源层之间和所述漏电极与所述有源层之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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