[发明专利]一种微米级紫外激光微加工平台

摘要

本发明公开了一种微米级紫外激光微加工平台，包括紫外激光器、单轴振镜、振镜及远心透镜、45°反射镜片、短焦距物镜组、CCD监视器、X/Y直线电机工作台、吸附平台和大理石工作台，紫外激光器通过激光器底座安装在大理石工作台上，紫外激光器的后方设有电动可调扩束镜，振镜及远心透镜、CCD监视器、短焦距物镜均位于激光器底座后方，X/Y直线电机工作台安装在激光器底座后方的大理石工作台上，吸附平台通过Z轴微调升降装置安装在X/Y直线电机工作台上。本发明能够实现高速、高精密光束偏转控制和高速、高精密运动控制，具有高精密的视觉定位，将加工尺度和精度推向微米级；高稳定性和可靠性，长期免维护，设备安装方便，启动、运行操作简单。

主权项

一种微米级紫外激光微加工平台，其特征在于，包括紫外激光器（1）、单轴振镜（3）、振镜及远心透镜（4）、45°反射镜片（5）、短焦距物镜组（6）、CCD监视器（7）、X/Y直线电机工作台（9）、吸附平台（10）和大理石工作台（11），所述紫外激光器（1）通过激光器底座（12）安装在大理石工作台（11）上，所述紫外激光器（1）的后方设有电动可调扩束镜（2），所述单轴振镜（3）安装在电动可调扩束镜（2）后方的激光器底座（12）上，所述45°反射镜片（5）安装在电动可调扩束镜（2）右侧的激光器底座（12）上，所述振镜及远心透镜（4）和短焦距物镜组（6）均安装在激光器底座（12）的后侧，所述振镜及远心透镜（4）的前端通过连接筒固定在激光器底座（12）上，所述短焦距物镜组（6）的前端通过连接筒固定在激光器底座（12）上，所述CCD监视器（7）通过调节杆固定在激光器底座（12）上，所述振镜及远心透镜（4）位于单轴振镜（3）的正后方，所述短焦距物镜组（6）位于45°反射镜片（5）的正后方，所述CCD监视器（7）位于振镜及远心透镜（4）和短焦距物镜组（6）之间，所述紫外激光器（1）产生的激光经过电动可调扩束镜（2）入射于振镜及远心透镜（4）及短焦距物镜组（6），所述X/Y直线电机工作台（9）安装在激光器底座（12）后方的大理石工作台（11）上，所述吸附平台（10）通过Z轴微调升降装置（8）安装在X/Y直线电机工作台（9）上。