[发明专利]一种微米级紫外激光微加工平台

说明书

技术领域

本发明涉及一种加工平台，具体是一种微米级紫外激光微加工平台。

背景技术

微加工通常指通过在微细工件上去除材料实现特征的创建和修改。激光加工技术是常见的一种激光微细加工技术。激光微细加工有许多优点，包括良好的柔性(光束扫描轨迹路径的可控制性)，非接触式加工(激光束为最主要的加工刀具，且与工件不接触)，高分辨率(小于10微米)。因此，激光微细加工有许多现有的和潜在的应用领域，包括但不局限于如：医疗设备、太阳能电池以及提高摩擦性能的机械零件表面微织构。

在目前的激光微加工设备中，激光波束控制采用的是振镜或光束旋转器（或旋光模组）技术，它们在加工设备中都呈现为机械运动部件，前者在两维方向各采用一个偏转镜面、后者采用电机驱动棱镜旋转，这两类结构都对环境条件敏感、机械磨损、经常需要调节、缺乏灵活性、体积和重量大，使用不方便，因而成为高精度激光微加工设备中的一个主要技术问。

发明内容

本发明的目的在于提供一种操作简单、稳定可靠的微米级紫外激光微加工平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种微米级紫外激光微加工平台，包括紫外激光器、单轴振镜、振镜及远心透镜、45°反射镜片、短焦距物镜组、CCD监视器、X/Y直线电机工作台、吸附平台和大理石工作台，所述紫外激光器通过激光器底座安装在大理石工作台上，所述紫外激光器的后方设有电动可调扩束镜，所述单轴振镜安装在电动可调扩束镜后方的激光器底座上，所述45°反射镜片安装在电动可调扩束镜右侧的激光器底座上，所述振镜及远心透镜和短焦距物镜组均安装在激光器底座的后侧，所述振镜及远心透镜的前端通过连接筒固定在激光器底座上，所述短焦距物镜组的前端通过连接筒固定在激光器底座上，所述CCD监视器通过调节杆固定在激光器底座上，所述X/Y直线电机工作台安装在激光器底座后方的大理石工作台上，所述吸附平台通过Z轴微调升降装置安装在X/Y直线电机工作台上，。

作为本发明进一步的方案：所述振镜及远心透镜位于单轴振镜的正后方。

作为本发明进一步的方案：所述短焦距物镜组位于45°反射镜片的正后方。

作为本发明再进一步的方案：所述紫外激光器产生的激光经过电动可调扩束镜入射于振镜及远心透镜及短焦距物镜组。

作为本发明再进一步的方案：所述CCD监视器位于振镜及远心透镜和短焦距物镜组之间。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明能够实现高速、高精密光束偏转控制和高速、高精密运动控制，具有高精密的视觉定位，将加工尺度和精度推向微米级；高稳定性和可靠性，长期免维护，设备安装方便，启动、运行操作简单。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的主视图。

图3为本发明的左视图。

图4为本发明的俯视图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1-4，一种微米级紫外激光微加工平台，包括紫外激光器1、单轴振镜3、振镜及远心透镜4、45°反射镜片5、短焦距物镜组6、CCD监视器7、X/Y直线电机工作台9、吸附平台10和大理石工作台11，所述紫外激光器1通过激光器底座12安装在大理石工作台11上，所述紫外激光器1的后方设有电动可调扩束镜2，所述单轴振镜3安装在电动可调扩束镜2后方的激光器底座12上，所述45°反射镜片5安装在电动可调扩束镜2右侧的激光器底座12上，所述振镜及远心透镜4和短焦距物镜组6均安装在激光器底座12的后侧，所述X/Y直线电机工作台9安装在激光器底座12后方的大理石工作台11上，所述吸附平台10通过Z轴微调升降装置8安装在X/Y直线电机工作台9上，所述振镜及远心透镜4的前端通过连接筒固定在激光器底座12上，振镜及远心透镜4位于单轴振镜3的正后方，所述短焦距物镜组6的前端通过连接筒固定在激光器底座12上，所述短焦距物镜组6位于45°反射镜片5的正后方，所述CCD监视器7通过调节杆固定在激光器底座12上，且CCD监视器7位于振镜及远心透镜4和短焦距物镜组6之间，所述紫外激光器1产生的激光经过电动可调扩束镜2入射于振镜及远心透镜4及短焦距物镜组6。