[发明专利]固体摄像元件及其制造方法、固体摄像装置和摄像装置

摘要

本发明公开了一种固体摄像元件、固体摄像元件的制造方法、固体摄像装置和摄像装置。所述固体摄像元件包括：半导体基板，所述半导体基板包括用于对入射光进行光电转换的受光部；第一氧化物层，所述第一氧化物层形成在所述半导体基板的表面上；以及第二氧化物层，所述第二氧化物层位于所述第一氧化物层和平坦化膜之间，其中，所述第二氧化物层的形成材料的氧化焓小于所述第一氧化物层的形成材料的氧化焓。所述固体摄像装置包括所述固体摄像元件和光学系统。所述摄像装置包括所述固体摄像元件、光学系统和信号处理部。本发明能够避免界面损坏并且能够在不降低可靠性和粘着性的前提下抑制暗电流。

主权项

1.一种摄像元件，其包括：半导体基板，所述半导体基板包括用于对入射光进行光电转换的受光部；第一氧化物层，所述第一氧化物层形成在所述半导体基板的表面上；以及第二氧化物层，所述第二氧化物层位于所述第一氧化物层和包括钛元素的层之间，其中，所述第二氧化物层的形成材料的氧化焓小于所述第一氧化物层的形成材料的氧化焓。