[发明专利]一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法

摘要

本发明公开了一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法，属于高分辨共焦扫描光学显微成像及测量技术领域。本发明所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器为多环带形结构，每个环带可实现独立电极输出，利用不同环带信号的运算组合，编程选择滤波器信号输出模式以实现多种功能共焦探测输出，分别实现可变直径圆形针孔滤波、可变内外直径环形针孔滤波、差分和微分滤波共焦探测输出等，并应用实现高分辨率共焦层析成像及精密测量。以本发明为基础研制分辨率可调制共焦扫描光学显微镜，用于微纳结构表面形貌的精密测量或生物样品内部三维结构高分辨成像等。

主权项

一种多环带形MEMS共焦针孔探测器，其特征在于，包括自下而上设置的硅基底(7)和底层电极(8)，底层电极(8)上通过绝缘层(9)由内至外间隔绝缘形成圆形区域和若干环形区域，圆形区域和每个环形区域内自底层电极(8)起自下而上依次为N型区(5)、耗尽层(4)和P型区(3)，每个P型区(3)的顶面沉积一个上层独立电极(2)；其中，共焦显微镜系统中由待测物体反射或散射发出的照明光投射在P型区(3)表面，通过由圆形区域和若干环形区域内的上层独立电极(2)、P型区(3)、耗尽层(4)、N型区(5)和底层电极(8)组成的环带形光探测单元探测上述光强度场后，以独立电极信号形式传递到后续电路处理单元。