[发明专利]一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法

权利要求书

1.一种多环带形MEMS共焦针孔探测器，其特征在于，包括自下而上设置的硅基底(7)和底层电极(8)，底层电极(8)上通过绝缘层(9)由内至外间隔绝缘形成圆形区域和若干环形区域，圆形区域和每个环形区域内自底层电极(8)起自下而上依次为N型区(5)、耗尽层(4)和P型区(3)，每个P型区(3)的顶面沉积一个上层独立电极(2)；其中，

共焦显微镜系统中由待测物体反射或散射发出的照明光投射在P型区(3)表面，通过由圆形区域和若干环形区域内的上层独立电极(2)、P型区(3)、耗尽层(4)、N型区(5)和底层电极(8)组成的环带形光探测单元探测上述光强度场后，以独立电极信号形式传递到后续电路处理单元。

2.根据权利要求1所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器，其特征在于，还包括透光窗口(1)，其设置在绝缘层(9)和上层独立电极(2)的上方，由待测物体反射或散射发出的照明光经过透光窗口(1)后投射在P型区(3)表面。

3.根据权利要求1所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器，其特征在于，还包括引线焊盘(6)，其沿底层电极(8)的圆周方向焊接在底层电极(8)上。

4.根据权利要求1所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器，其特征在于，上层独立电极(2)和绝缘层(9)能够实现圆形区域和每个环形区域的独立光电转换传感输出。

5.权利要求1至4中任一项所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

由待测物体反射或散射发出的照明光投射在P型区(3)表面，通过由圆形区域和若干环形区域内的上层独立电极(2)、P型区(3)、耗尽层(4)、N型区(5)和底层电极(8)组成的光探测单元探测上述光强度场，并以独立电极信号形式传递至后续电路处理单元，进而利用圆形区域和若干环形区域内的独立电极信号进行数学运算，选择滤波器信号输出模式实现不同环带探测信号的求和、差分、微分共焦探测输出。