[发明专利]上电极组件及反应腔室在审
| 申请号： | 201510701261.0 | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106611692A | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 王婷婷 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种上电极组件及反应腔室，包括介质桶、环绕在该介质桶周围的线圈以及用于冷却介质桶的冷却机构，该冷却机构包括冷却通道，该冷却通道位于线圈的内侧，通过向冷却通道内通入冷却介质，来冷却介质桶；并且冷却通道被设置为使通入其内的冷却介质直接与介质桶相接触；冷却通道具有分别用于输入和输出冷却介质的入口和出口。本发明提供的上电极组件，其不仅可以提高对介质桶的冷却效果，而且还可以提高介质桶的温度均匀性，从而可以提高工艺均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 组件 反应 | ||
【主权项】：
一种上电极组件，包括介质桶、环绕在所述介质桶周围的线圈以及用于冷却所述介质桶的冷却机构，其特征在于，所述冷却机构包括冷却通道，所述冷却通道位于所述线圈的内侧，通过向所述冷却通道内通入冷却介质，来冷却所述介质桶；并且所述冷却通道被设置为：使通入其内的冷却介质直接与所述介质桶相接触；所述冷却通道具有分别用于输入和输出冷却介质的入口和出口。
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